应用领域

半导体膜、介质膜、显示膜、光学膜、装饰膜

材质

金属靶材(A1、Sn、Zn、Ti、Ni Cr、Zr、Ir、Ag、Au、Pt、Hf、Nb、Cu、W、Mo、To等)

合金靶材(金钢、不锈钢、铜锡、镍铬、钛铝、钛错、钛金、金银、金镍、金、钨钼等)

磁性靶材(纯铁、坡莫合金等)

氧化物靶材(氧化钢锡陶瓷等)

靶材形状

板状、管状、线状、棒状