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2022-05
PVD镀膜设备的使用步骤
1、打开真空控制电源开关。
2、开维持泵对扩散泵抽低真空，并测量前级真空度。
3、待前级压力达到5*100后，开扩散泵加热。
4、开充气阀，对镀膜室充气，打开镀膜室门，装好清洗干净的工件，关好炉门。
5、待扩散泵正常工作一小时后，开机械泵开预抽阀，对真空室手抽真空至1*103，然后开罗茨泵。
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07
2022-05
ITO溅射镀膜
铟锡氧化物( Indium Tin Oxide ,简称ITO) 薄膜是一种用途广泛的透明导电材料,已成熟的应用于电机车挡风玻璃、液晶显示器件、太阳能电池、全息照相和液晶彩色电视等,蓄势待发的应用领域为有机发光二极管显示器(Organic Light-Emitting Diode ,简称OLED) 。从应用角度出发,通常要求ITO 薄膜的成份是In2O3 和SnO2 ,薄膜中铟锡低价化合物愈少愈好。ITO 薄膜的制备方法很多,如喷涂、蒸发、射频溅射和磁控溅射等。随着液晶显示器技术向高精细化和大型化发展,磁控溅射法备受欢迎。
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2022-05
蓝宝石涂层镀膜机
蓝宝石有着很好的热特性、电气特性和介电特性，防化学腐蚀、耐高温、导热好、硬度高、耐磨防刮、防炫目、耐磕碰，但蓝宝石不抗压，易破碎。因此，蓝宝石常被用来代替其他光学材料制作光学元件、透红外线光学窗片，并被广泛地应用于红外及远红外军用装备方面，在航海航天航空用高精密仪器仪表等方面也得到了充分应用。而在生活中，我们更为熟知的就是腕表镜面、超市条形码扫描器。此外，蓝宝石也被应用在3C数码领域，但由于工艺复杂、成本较高等原因，应用蓝宝石涂层来取代将是一种趋势。
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07
2022-05
如何改善靶材黑化对ITO光电特性的影响
造成靶材出现黑化的因素有很多，与靶材的成分及密度、靶材的溅射功率、靶表面的温度以及靶材表面的清洁度、靶材背板、阳极罩的清洁度、靶材之间的间隙、真空室内的杂质气体含量等有关系。要减小靶材黑化对ITO膜面电阻及透过率的影响，应要求：
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